本报记者 丰舒潍

  每次到全球无机氟化工领军企业——多氟多化工股份有限公司采访，都为这家企业的科技创新步伐之快而惊叹。12月11日，记者在多氟多了解到，继六氟磷酸锂之后，多氟多投资1亿元建设的年产1万吨电子级氢氟酸项目已经建成试车，完成了氢氟酸产品的又一次转型升级。

  电子级氢氟酸是电子信息产业极大规模制造的关键材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响，且具有技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特性。目前，国内用高纯度的电子级氢氟酸主要是从日本、美国和欧洲等地区进口。

  套上一次性鞋套，戴上安全帽，记者随多氟多四分厂厂长闫春生进入电子级氢氟酸生产车间。在一楼的调配楼层，除了一道道淡蓝色密闭双套管材外，记者看不到一个工人。闫春生说，他们采用的装置是先进的电脑自动化集控技术，整个生产线也不过30个人。

  据介绍，生产电子级氢氟酸的原料是多氟多的自有产品——无水氢氟酸。闫春生说，他们将工业无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下进行灌装得到最终产品——电子级氢氟酸。记者看到，生产环节中的所有接口都处于指定厂家生产的密闭调配柜内，而从生产车间输送到包装车间的管道则没有一处接口，这都是确保产品纯度的必要举措。

  随后，记者来到环境条件要求最高的包装车间。说是包装车间，其实我们只被允许进入了三层车间的最外层而已。透过层层密闭的玻璃窗，分析室内的3名工人全副武装，正对提纯过的产品进行取样分析，镜面般的车间地面一尘不染。由于电子级氢氟酸对环境的密闭洁净程度要求非常高，核心部位要达到百级要求，即每1立方米空间内，0.5微米的粉尘颗粒不能超过100个。因此，员工进入楼体要通过一部电梯，在进入车间之前，还要先后经过更衣、戴手套、清洗、烘干、风淋等10项清洁程序，彻底抖落身上的粉尘颗粒，并且严禁口鼻外露。

  据介绍，电子级氢氟酸是电子信息产业极大规模制造的关键材料之一，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响，且具有技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特性。目前，UPS电子级氢氟酸生产线全球共有8家，而多氟多是我国国内第一家。

  在包装车间末端，一桶桶经过提纯、分装的电子级氢氟酸被陆续传送出来。可别小看这一提纯过程，原价每吨六七千元的无水氢氟酸，经过提纯成为电子级氢氟酸后，浓度50%左右的产品售价在2万元左右。

  多氟多总经理侯红军告诉记者，提纯难是目前国内的一个行业共性问题。多氟多年产1万吨电子级氢氟酸项目，打破了目前我国高品质电子级氢氟酸依赖进口的局面，正式投产后每年可实现销售收入14800万元，利税9674万元。