本报记者 孙国利

  实现高质量发展，工业企业该咋办？多氟多化工股份有限公司为我们提供了可资借鉴的样板：矢志不移勇创新，是高质量发展的核心密码；踏踏实实做实业，是高质量发展的根基。

  如果说科学技术是第一生产力，那么创新就是解放生产力的钥匙。靠科技创新开发氟资源，多氟多崛起为全球无机氟化工行业领军企业。多氟多董事长李世江自信满满，而今的多氟多，手执创新这一转型利器，在高质量发展的康庄大道上行稳致远——发展路径清晰明了。把对氟、锂、硅的研究结合起来，多氟多在边缘交叉学科上领先一步，提出整体解决方案，完成了由氟化工出发，向高端氟材料产业延伸的华丽转身。

  在半导体产业链中，材料是半导体行业的基石，材料的发展在半导体的生产中扮演着重要角色。加之，眼下日韩贸易之间的局势，使得半导体材料备受关注。

  机会总是留给有准备的人，企业亦然。前不久，日本政府启动针对韩国半导体核心原材料的出口管制，日韩贸易战持续发酵。作为其外溢效应之一，韩国企业迫切需要寻求原材料替代，多氟多等一批领先的中国电子化学品生产供应商，适时抓住这一商机。作为目前全球工业级氢氟酸产能的龙头企业，多氟多在电子级氢氟酸领域的产业链协同优势及高技术门槛壁垒不容小视。近期，韩国企业赴中国洽谈电子级氢氟酸采购的频率明显增加，而多氟多当前产能已难以满足急速增长的市场需求。

  多氟多之所以能够抢抓机遇进军韩国市场，并不是偶然的。作为氟化工行业的龙头企业，多氟多已经在电子级氢氟酸生产工艺、技术水平等方面深耕沉淀多年，打下了坚实的根基。

  一直以来，多氟多在氟、硅、锂三个元素细分领域上进行了大量研究，其产品布局无机氟化物、电子化学品、锂电池及材料、电动汽车四大领域。多氟多走出了一条技术专利化、专利标准化、标准国际化的道路。李世江说：“目前，多氟多拥有400多项专利，这些专利有两个特点，首先大部分都是发明专利，其次这些专利大部分在多氟多实现了产业化，这也是多氟多的核心竞争力。”

  走进多氟多生产厂区，记者被其“高大尚”的生产车间所吸引。套上一次性鞋套、戴上防护帽，经过两道密闭门进行风淋除湿后，记者来到环境条件要求最高的包装车间。透过层层密闭的玻璃窗，记者看到工作人员身着连体防腐蚀安全服，全副武装，车间地面如镜面般一样一尘不染。在生产区域，记者看到生产环节中的所有取样接口，都处于指定厂家生产的密闭中央取样柜内，保证了分析的准确性，而从生产车间输送到包装车间的管道长达300米没有一处接口，这是确保产品纯度及安全的必要举措。

  众所周知，作为半导体的关键材料，氢氟酸有两个作用，一个是蚀刻剂、一个是清洗剂。在过去的时间里，硅作为半导体的主要材料，已经得到了极大发展，硅片的发展离不开基于氟的刻蚀技术。正如摩尔定律，刻蚀线宽已经从65纳米、40纳米、28纳米、20纳米，发展到了现在7纳米、5纳米，甚至是3纳米。由于线宽越来越窄，在进行蚀刻时，对电子化学品也越来越严格。尤其是对电子级氢氟酸要求越来越严格，电子级氢氟酸里面的杂质含量，从最开始的ppm级发展到了ppb级，但是当半导体带宽从7纳米进到3纳米时，ppb级也不能满足半导体刻蚀所需要的精度了，于是ppt级的电子级氢氟酸开始被采用。这就是氟、硅之间相互作用，对半导体发展的影响。

  由于电子级氢氟酸市场化应用门槛极高，2017年之前，国内芯片行业所用的电子级氢氟酸几乎全靠从日本、美国等国家进口。为了能突破超净高纯电子级氢氟酸生产关键技术，多氟多2008年就开始进行大量实验，依托自身在氟化工行业近30年的生产经验优势，不断完善工艺技术，改进生产设备，研制开发出了具有自主知识产权的三级纯化和两级膜过滤技术，并在精馏提纯、环境控制、设备优化等关键技术上实现了突破，终于制备成功超净高纯电子级氢氟酸。

  依托自主开发的以工业无水氢氟酸为原料生产电子级氢氟酸的全套新工艺，2013年，多氟多建立了万级清洗、千级灌装、百级分析室、电子级自动灌装线，制程设计为全球最高端纯化工艺UPSS级，氟化氢产品纯度达到ppt级，成为国内第一家具备超高纯电子级氢氟酸生产能力的企业。目前，多氟多电子级氢氟酸的产品性能已经优于行业内SEMI-C12的标准，阴离子（各种酸根离子）含量<5ppb，阳离子含量<10ppt，颗粒(粒径≥0.2μm)≤10个/ml，可以满足国内主流芯片生产的工艺要求。

  2012年，多氟多对白银中天化工有限责任公司实施并购重组，新建高性能无水氟化铝配套无水氟化氢项目和5万吨/年无水氟化氢项目。此后在2017年6月，与宁夏金和化工有限公司共同投资设立宁夏盈氟金和科技有限公司，从事氟化盐的生产经营业务。

  李世江说：“目前，包括多氟多、白银中天、盈氟金和在内，工业级氢氟酸的年产能已达到24万吨。”在李世江看来，多氟多全产业链的优势加上此前多年在氟化工行业的生产销售经验，将为电子级氢氟酸板块未来市场拓展打下坚实基础。可以作为先例的是，如今使多氟多享誉全球的六氟磷酸锂产品，此前也长期受日本企业垄断。

  从2018年10月开始，多氟多电子级氢氟酸就成功打开了韩国等国际市场，实现批量出口，经测试产品性能完全达到业界先进水平。2018年，多氟多电子级氢氟酸销量超过1000吨，比上年增长了600%以上，销售额近2000万元，成为公司新的利润增长点。目前，多氟多一期电子级氢氟酸生产线已基本实现满负荷生产。2019年年底，多氟多二期5000吨/年电子级氢氟酸项目将建成投产，届时将达到万吨级生产规模。

  半导体工业是人类智慧集中程度最高的工业。李世江认为，多氟多所生产的电子级氢氟酸产品已然满足半导体工业的需求。但他也表示，由于半导体工业的特殊性，这些产品很难做，并且这些产品验证时间很长。多氟多称之为是拥有高风险、高技术难度和高附加值特点的“三高”产品。

  多氟多一直以来在氟化工方面默默耕耘，李世江说：“目前，多氟多的电子级氢氟酸已经做到了ppt级，实现了电子级产品中国造，超净高纯ppt级电子级氢氟酸的研发成功也是中国民族工业崛起的一种标志。多氟多所生产的电子级氢氟酸已经开始向韩国出口。”

  多氟多在半导体新材料方面还有很多产品。据介绍，多氟多半导体新材料共有两大类，一类是湿电子化学品，一类是干电子化学品。湿电子化学品以电子级氢氟酸为代表，多氟多研究了电子级硫酸、电子级硝酸、电子级双氧水等一系列产品。在干电子化学品方面，多氟多生产了包括电子级的硅烷、三氟化氮、四氟化硅等产品。

  李世江也提到了目前半导体新材料在国内发展所遇到的问题。李世江说：“目前我们遇到最大的问题是，中国人不相信中国人能做好这些产品，这是很遗憾的。一方面今天我们为电子级氢氟酸产品进入韩国市场感到自豪，另一方面我们非常多的产品是通过进入国外市场反过来往国内市场推进，这是不正常的。”

  变，是多氟多永恒不变的规律。创新，实质上就是一种变革，是否认自我、超越自我、追求先进的一种勇气。问前路，创新永远在路上。执着创新已成为一种原动力，推动着多氟多的转型。同时，多氟多的转型，也正浸润成为一种文化惯性，催生出持续创新的新动力。